双压电晶片可变形反射镜是通过将带有图案电极的压电陶瓷盘粘合到覆盖有反射涂层的薄玻璃板上制成的。当电极极化时,反射镜会弯曲,弯曲的方向取决于电压极性。
耐热膨胀 | 水冷 | 稳定 | 性价比 | 多种配置 |
双压电晶片变形镜是体积庞大的器件,因此热膨胀只能产生低阶像差,当反射镜工作时,这些像差很容易得到补偿。 | 独特功能之一:我们的双压电晶片可变形反射镜在与超高功率激光器一起使用时可以进行水冷,以消除高达 50 kW/cm2 的热损坏风险。 | 即使丢失多达 10% 的电极,双压电晶片可变形反射镜仍将继续完美地校正像差。 | 制造工艺非常简单,因此双压电晶片变形镜的价格低廉。 | 该技术可以使用任何类型的基材和任何类型的涂层,因此它可以覆盖从 X 射线到远红外的全光谱范围。 |
有效直径 | 10 – 600 毫米 |
电极数量 | 高达 500 |
电极尺寸 | 低至 10 毫米 |
行程 | 高达 +/- 40 µm 或 +/- 2 m 曲率 |
频率 | 高达 500 Hz(首次共振 @ 5 kHz) |
电极图案 | 任何设计 |
镜面基板 | 玻璃、硅、铜、压电陶瓷…… |
涂层 | 金属、电介质、激光损伤高达 20 J/cm2(ns 脉冲) |
光谱范围 | 122 nm(远紫外)至 10.6 µm(远红外) |
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