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AKA 堆叠致动器可变形反射镜
    发布时间: 2024-04-30 09:15    

堆叠致动器可变形反射镜是通过将压电陶瓷柱（称为致动器）粘合到覆盖有反射涂层的薄玻璃板上制成的。当致动器极化时，镜子会弯曲，弯曲的方向取决于电压极性。

堆栈致动器可变形反射镜是高分辨率成像的畅销产品
，通常用于激光和成像中的高阶像差校正（Zernike系数 > 24）。


高阶校正

大行程

高速

多种配置

堆叠致动器可变形反射镜可以具有高密度的致动器和较小的致动器间空间，因此它们非常适合高阶像差校正 (Z >>24)。
压电执行器的最大行程 - 标准为 10 µm，最大的执行器间行程 - 标准为 2 µm。
堆叠致动器可变形反射镜可以以最高速度运行 - 高达 1 kHz，并具有大的第一共振频率 - 高达 15 kHz。
该技术可以使用任何类型的基材和任何类型的涂层，因此它可以覆盖从 X 射线到远红外的全光谱范围。

有效直径

10 – 100 毫米

执行器数量

高达 512

执行器尺寸

高达 10 毫米

执行器间行程

高达 2 µm

频率

高达 1 kHz（首次共振 @ 15 kHz）

镜面基板

玻璃、硅、铜、压电陶瓷……

涂层

金属、电介质、激光损伤高达 20 J/cm2（ns 脉冲）

光谱范围

122 nm（远紫外）至 10.6 µm（远红外）