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JX YZ-STAGE 二轴高精度位移台
    发布时间: 2024-04-30 09:21    

 YZ-Stage 是一种刚性、重载、高精度的载物台。

非常精确的运动和高刚度符合真空波纹管的张力，并使其能够以非常高的精度水平移动光束线组件。


技术规格

运动范围
Z：12 毫米
Y：15 毫米

精度
± 2 微米（超过 2 毫米）
± 4 微米（超过 10 毫米）

分辨率
Z：每整步
0.1 微米 Y：每整步 0.1 微米

重复性
± 1.0 微米（单向）

角度误差
± 35 µrad 俯仰、偏航和滚转
（绕所有轴旋转）

线性刚度
Kx：< 0.4 µm/N
Ky：< 0.4 µm/N
Kz：< 0.1 µm/N

角刚度
Kcx：< 8 µradian/Nm
Kcy：< 8 µradian/Nm
Kcz：< 8 µradian/Nm

负载能力
~35 kg 用于高精度运动（指定）
>75 kg 高精度