产品说明

• 空气弹簧隔振系统拥有出色的技术和业绩记录： 我们使用的空气弹簧系统在从显微镜和激光应用技术到半导体制造和检测设备的各个领域都拥有良好的记录。它保证了在几赫兹到几百赫兹的宽频带内具有优异的隔振性能。此外，即使气源被切断，空气弹簧底部的防振橡胶也能保护所安装设备的精密机构。

• 多功能单元类型： 当集成到设备中时，隔振系统的安装空间要求更小。 AP 系列是紧凑型单元，包括空气弹簧和控制空气弹簧的高灵敏度液位维护传感器。无需对设备规格进行任何重大改变即可安装，并提供高隔振性能。

• 整体高度统一为185mm（浮动时）： 所有这些隔振系统的整体高度统一为 185mm。万一所安装设备的质量由于设计变化而增加或减少，则可以在不改变设备总高度的情况下适应这种情况。

• 涵盖广泛的有效负载质量：需要隔振的精密设备的类型和用途逐年多样化。根据精密设备的重量，我们拥有从AP-80到AP-380的11种型号，可以处理从数百公斤到10吨以上的大型精密设备。

• 也可用于洁净室：当用于高级洁净室时，可改为可集中排风的洁净室液位维持传感器。 （由于这是特殊订单，请单独联系我们。此外，不能对两级传感器进行更改）。

• 对移动负载的高响应能力： 工件的移动、基板的传送等以及自动加工和测量机的操作总是伴随着负载的变化，当用弹性体空气弹簧支撑时，位置重复性非常重要。 AP系列标配了名立独特的高灵敏度水平维护传感器作为空气弹簧控制的标准，实现了±200μm的垂直返回精度。另外，近年来，随着工件的高速化，安装基板的晃动也成为问题。如果选择可选的两级传感器，可以缩短振动的收敛时间，并且返回精度为±100μm，从而可以作为被动隔振系统对移动负载的响应达到极限。 （如果由于移动负载而产生的晃动的收敛时间存在问题，请务必提前与我们协商） 

隔振器必须具有优异的性能，但也需要更加灵活。这是因为针对精密设备特性量身定制的最佳隔振系统越来越多地直接集成到设备中。 AP系列是一款可以立即满足这些需求的隔振系统。除了丰富的功能之外，它还具有高度的可扩展性。这种隔振系统创造了更加理想的振动环境。

通用参数

气浮式大负载隔振器

• 计测・计量机器

• 半导体制造・精密加工。

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http://www.5ilier.com/product?id=cf273fd4-04ff-4787-b0c5-af2007a43915