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KS 2000 系列可变高度工作站
    发布时间: 2024-05-06 11:10    

典型应用

原子力显微镜、细胞注射、共聚焦显微镜、掩模对准、计量学、显微镜、光学显微镜、膜片夹持、晶圆探测

特点：

  • VibraDamped 钢结构

  • 高性能主动空气悬架

  • 从十二个标准尺寸的十个桌面中选择

  • 自动调平控制

  • 在 12 英寸范围内无限可调

  • 100 级洁净室兼容 – 10 级可用

性能数据


 

最小 负载@ 20 psi




垂直 固有频率1.9赫兹
隔离效率 @ 5 Hz70%
隔离效率 @ 10 Hz90%


水平 固有频率2.2赫兹
隔离效率 @ 5 Hz64%
隔离效率 @ 10 Hz90%


最大限度。负载@ 80 psi


垂直 固有频率1.5赫兹
隔离效率 @ 5 Hz85%
隔离效率 @ 10 Hz97%


水平 固有频率1.2赫兹
隔离效率 @ 5 Hz91%
隔离效率 @ 10 Hz97%


总负载能力@ 80 psi
2001800 磅。


(363 公斤)

20021300 磅。


(590 公斤)

结束
标准线性白色光滑聚氨酯
10级白色环氧粉末涂层

注意：典型的性能效率是针对微扰动的。