NLE 线性平台的真空兼容版本在尺寸上与标准 NLE 相同。产品的每个部分都经过修改，以最大限度地减少真空中发生的泄漏问题。

所有铝制部件均经过透明氧化处理，轴承采用 Braycote 601EF 润滑脂润滑，所有电线均采用聚四氟乙烯绝缘材料。步进电机和线性编码器专为真空应用而设计。紧固件由不锈钢制成，如果在盲孔中使用，则排气以消除泄漏。

真空兼容线性编码器用于提高定位精度。

驱动系统采用带有乙缩醛塑料驱动螺母的不锈钢 ACME 丝杠。驱动螺母提供零间隙操作，可自动调整磨损以确保平台使用寿命内的零间隙。

直线导轨轴承的使用提供了具有高负载能力和刚度的平稳运动。由于托架在平台的整个行程中得到支撑，因此可以实现良好的悬臂负载能力。

电机电线和编码器电缆长 0.6 m (2 ft.)。电机线端接真空兼容 DB-9 母连接器，编码器电缆端接真空兼容 DB-15 母连接器。