NM D-Slide 真空兼容线性位移台
    发布时间: 2024-04-30 10:09    

D-Slide 长行程线性滑轨提供低至 10 -7  Torr 的真空兼容性。

D-Slide 有 XY 和 XYZ 配置,带有可选的转接板。

D-Slide 线性平台的真空兼容版本在尺寸上与标准 D-Slide 相同。产品的每个部分都旨在最大限度地减少真空中的泄漏问题。

所有铝制部件均经过透明氧化处理,轴承采用 Braycote 601EF 润滑脂润滑,所有电线均采用聚四氟乙烯绝缘材料。步进电机和限位开关专为真空应用而设计。紧固件由不锈钢制成,如果在盲孔中使用,则排气以消除泄漏。

驱动系统采用带有乙缩醛塑料驱动螺母的不锈钢 ACME 丝杠。驱动螺母提供零背隙操作,可自动调整磨损以确保平台使用寿命内的零背隙。

D-Slide 提供 400 毫米、600 毫米、800 毫米和 1000 毫米的行程长度。D-Slide 标配真空兼容的高扭矩 23 号步进电机。行程末端限位开关是 D-Slide 线性平台的标准配置。

D-Slide 的底座由轻巧而坚固的铝挤压件制成,顶部安装了两个 15 毫米的直线导轨轴承。这些轴承在整个行程范围内提供高负载能力和平稳运动。

D-Slide 的底座在侧面和底部有 T 形槽,几乎可以提供无限的安装选项。

电机和信号线长 0.6 m (24"),端接 DB-9 连接器。请注意,DB-9 连接器不兼容真空。


规格

行程范围
400 毫米、600 毫米、800 毫米、1000 毫米
丝杠螺距
10 毫米/转
电机分辨率
0.2 µm(@ 250 微步)
最大速度
50 毫米/秒
最大负载
136 公斤(300 磅)
准确度
0.0006 毫米/毫米
重量
DS-400:6 公斤(13 磅)| DS-600:7 公斤(15.5 磅)| DS-800:8.5 公斤(18 磅)| DS-1000:9.5 公斤(21 磅)
材料
表面处理
透明氧化层
真空等级
10^-7托
工作温度
0°C 至 70°C

电机选项

5718_NEMA23_Vacuum_Motors

NEMA 23 真空兼容电机

所有油漆和油都从电机上清除。接下来,使用高温绕组以及特氟龙引线。

  • NEMA 23 高扭矩步进电机

  • 2.8 安培/相

  • 0.9 欧姆/相

  • 2.5 mH/相

  • 1.8 度/步