技术规格

孔径尺寸
最大值：80 mm x 80 mm
最小值：完全重叠

分辨率
1 微米/整步

重复性
< 2 微米

整个范围内的精度为± 10 微米，
使用编码器时为 ± 1 微米或更好

真空
O 型圈密封，高真空 10 -5 mbar，低释气材料

限位开关（行程结束）
作为所有运动的标准配置

导向
高精度内部导轨滑块

电气连接
限位开关耦合到 2 个电机连接器（SUB-D 15 针公头）

电机
2 相步进电机

机械尺寸
341 mm x 341 mm x 118 mm
268 mm x 268 mm x 114 mm（仅外壳）

机械连接
侧面有 M6 螺纹孔，如图所示。槽体两侧设有LF-160法兰连接

重量
≈ 12.0 公斤

外表面 
带颜色性质的阳极氧化铝

常用选项
刀片：各种刀片形状和材料
电机：定制高分辨率步进，包括 IMS 电机
编码器：后轴旋转编码器或内部线性编码器（绝对式或增量式）
适配器：其他 KF(NW) 法兰或 CF 法兰
特殊准备实现真空 <10 -6  mbar
Kapton 的内部接线或带有 Teflon 绝缘的接线
主动冷却版本（每个叶片 50W）
提供超薄版本（光束方向的长度减少：99 毫米而不是 114 毫米）。
自定义连接器