对于单色应用,IB-C30-UHV 作为可靠且久经考验的 UHV 兼容狭缝系统提供,具有许多与著名的空气和真空狭缝系统相同的设计特征。
作为空气和真空 IB 狭缝,UHV 版本中的孔径由四个可独立移动且高度抛光的碳化钨刀片限定。这些刀片由高精度真空导轨系统控制。导轨靠近刀片定位,从导轨到刀片的距离最短。
为避免 UHV 污染和电机过热问题,高分辨率步进电机位于真空外部,所有运动均通过磁耦合馈通建立。
在其基本配置中,IB-C30-UHV 狭缝带有法兰开口,以允许与 CF-100 法兰连接。也可根据要求提供其他法兰。
建议选择带有内部线性 UHV 兼容编码器的选项,以便获得有关实际叶片位置的精确信息。
孔径尺寸
最大值:30 mm x 30 mm
最小值:完全重叠
分辨率
1 微米/整步
重复性
± 0.4 微米(单向)
精度
± 2 微米,开环超过 3 毫米,闭环为 0.5 微米
真空
不锈钢外壳,铜垫片,Kapton内部接线,UHV额定全金属导轨和开关;仅 UHV 额定材料
标准刀片
2 毫米厚的碳化钨刀片,可安装 0.5 度刀刃或 R16 半径刀刃
限位开关(行程末端)
UHV 兼容,所有叶片上的高质量限位开关包括 特高压兼容电线
导向
高精度内部导轨滑块
电气连接
限位开关通过 UHV 电气馈通连接到 2 个电机连接器(SUB-D 15 针公头)
电机
2 相步进电机
机械尺寸
特高压室外径:202.50 毫米
中心到外电机部分的距离:196 毫米
厚度(不包括螺栓):140 毫米梁方向长度(法兰到法兰)
标准两侧的机械连接DN-100CF(其他也是可能的)
重量
≈ 30.0 公斤
外表面
不锈钢
常见选项
刀片:各种材料和形状的刀片
法兰:可以指定 100CF 以外的法兰
编码器:可采用内部 UHV 兼容的雷尼绍线性编码器来局部测量真实运动
泄漏电流:从刀片中提取泄漏电流的方法
视口:如果需要,腔室可以安装视口。
支撑和定位:用于精确定位和对准狭缝
IB-C30-UHV 的支撑和装置,带 Pindiode
被动冷却功率高达 5 W:铜编织物安装在每个叶片和钢室之间。
主动冷却高达 50 W:请参阅 IB-C30-UHV-50W
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