技术规格

孔径尺寸
最大值：30 mm x 30 mm
最小值：完全重叠

分辨率
1 微米/整步

重复性
± 0.4 微米（单向）

精度
± 2 微米，开环超过 3 毫米，闭环为 0.5 微米

真空
不锈钢外壳，铜垫片，Kapton内部接线，UHV额定全金属导轨和开关；仅 UHV 额定材料

标准刀片
2 毫米厚的碳化钨刀片，可安装 0.5 度刀刃或 R16 半径刀刃

限位开关（行程末端）
UHV 兼容，所有叶片上的高质量限位开关包括 特高压兼容电线

导向
高精度内部导轨滑块

电气连接
限位开关通过 UHV 电气馈通连接到 2 个电机连接器（SUB-D 15 针公头）

电机
2 相步进电机

机械尺寸
特高压室外径：202.50 毫米
中心到外电机部分的距离：196 毫米
厚度（不包括螺栓）：140 毫米梁方向长度（法兰到法兰）

标准两侧的机械连接DN-100CF（其他也是可能的）

重量
≈ 30.0 公斤

外表面
不锈钢

常见选项
刀片：各种材料和形状的刀片
法兰：可以指定 100CF 以外的法兰
编码器：可采用内部 UHV 兼容的雷尼绍线性编码器来局部测量真实运动
泄漏电流：从刀片中提取泄漏电流的方法
视口：如果需要，腔室可以安装视口。
支撑和定位：用于精确定位和对准狭缝
IB-C30-UHV 的支撑和装置，带 Pindiode
被动冷却功率高达 5 W：铜编织物安装在每个叶片和钢室之间。
主动冷却高达 50 W：请参阅 IB-C30-UHV-50W