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主动式大负载除振设备R型
    发布时间: 2025-04-13 14:10    

主要用于FPD/半导体制造设备、电子显微镜/真空相关设备、测量设备、超精密加工机等

产品说明

  • 6自由度主动控制： 包含垂直和水平气动执行器的单元类型。它还可以隔离被动隔振难以实现的频带内的振动。

  • 在活动状态下执行 FB+FloorFF 控制： FB：反馈控制系统。FloorFF：地板振动前馈控制系统。StageFF：阶段前馈控制系统（可选）。

  • “轻量、紧凑” “低功耗” “低价”：该装置变得更轻、更紧凑，功耗更低，并且价格更低。

  • 可实现，在原有隔振基础上隔振等级至少提升2个量级。

 

通用参数

 

供气压力[MPa]

0.6-0.8（洁净干燥空气）

电源电圧[V]

100-240（AC交流，50/60Hz）

最大耗电量[VA]

120

环境温度[℃]

0～40 

环境湿度[%RH]

35～85

隔振・控制方式

通过气压控制振动控制

控制器尺寸

W×D×H [mm]

435x300x118

 控制器质量 [kg]

 7.5

 

  • 尺寸多样： 提供多种标准尺寸，满足不同实验空间需求。

  • 请注意：标示的价格仅包含产品本身以及送货费用，如您需要搬运或安装服务，请联系我们。

适用于 FPD 制造设备等大型设备的低价主动隔振器。

产品型号尺寸（1台）负载（使用4台时）
LO-MRZ-330504 mm ×404 mmx191mm4,000～12,800 kg
LO-MRZ-520694 mm × 594 mmx191mm10,000～32,000 kg

如需要更多信息或希望直接购买，请您访问：

http://www.5ilier.com/product?id=978f9ad6-ebb0-4472-af5f-423445596bd7