产品说明/振动传递率上面板/下面板孔间距

MAPS 系列是一种主动隔振装置，它将所有必要的功能组合到一个小型装置类型中，易于集成到您的设备中。

尽管尺寸小，但兼容所有自由度的振动： MAPS 系列主动隔振系统是一种单元类型，以紧凑的形式结合了垂直和水平气动执行器。通过使用 4 个单元，它可以提供出色的隔振、阻尼和定位性能，以抵抗所有自由度的振动。

• 还可以减少被动隔振难以实现的频带内的振动： 自然振动引起的共振通常是被动隔振的问题，但自然振动引起的共振可以通过激活来消除。此外，在该频带内也可以获得优异的隔振性能。例如，对于被动隔振较弱的2Hz左右的低频振动，可将其降低至被动隔振的1/30～1/100。

• 标准 MAPS 可以隔离重量超过 10 吨的设备的振动： 最近的精密仪器随着功能的增加而变得越来越大。目前已研制出总重量超过10吨的设备。随着设备变得越来越大，保持设备本身的高固有频率变得困难，使其更容易受到低频振动的影响，而这在过去很少成为问题。这也是为什么需要一种对低频振动具有优异隔振性能的主动隔振系统的原因之一。

• 即使配备位移台台等移动设备也不会晃动： 在被动减振装置中，通过柔软的弹性体来减振，如果装载了伴随 X-Y 位移台等运动的设备，可能会导致整体大幅晃动，反而增加振动。

  主动隔振利用反馈控制始终保持静止状态，从而可以减少振动。此外，如果可以预先将载物台的移动作为信号输出，则可以进行前馈控制以最小化所产生的振动，从而可以提供几乎没有振动的环境。

• MAPS具有出色的定位精度和水平精度：随着设备变得越来越大，倾斜就成为一个问题。由于设备本身很重，如果倾斜，就会在自重作用下弯曲，这会对精度产生重大影响。 MAPS 进行考虑水平精度的控制，因此可以抑制倾斜并保持精度。我们还考虑了定位精度，以便顺利传输磁盘、板等。

• MAPS 是一种小型且易于使用的单元类型：只需确保安装 MAPS 的空间，即可创建不受振动影响的环境。 MAPS系列的控制系统极其稳定，因此您不仅可以放心地使用内部设备，还可以放心地使用用于销售的产品。

• MAPS是构成精密设备的重要部件之一：到目前为止，似乎许多人只是出于对振动的担忧而使用防振器，但随着振动的精度、功能和尺寸的增加，防振器已经配备了防振器，以防止振动的影响。去除后，开始出现无法达到规格要求的性能的现象。隔振器不仅仅是精密设备的辅助设备，而是构成系统并保证其性能的重要部件之一。

• 基本零部件及数量：4 个 MAPS 执行器。控制器/放大器 1 台。气压调节器 1台。电缆 1套。管道 1套

• 请从设备开发之初就与我们联系：MAPS 系列在紧凑的外形中具有隔振所需的所有功能。因此，无需像过去那样确保大的空间来安装隔振器。

  当然，即使在设备开发完成后，MAPS也可以轻松组装，但在这种情况下，常常会出现各种限制。就隔振性能或成本而言，这并不是一个很好的方法。通过从设备开发阶段开始设计安装MAPS的基座、外壳等，可以有效利用空间，并且可以将MAPS安装在有利于隔振性能的位置。

  这样，在开发设计精密设备时考虑安装MAPS，就可以使振动环境更接近于更好的条件。

通用参数

• 高精度：应对全自由度的振动，可以消除被动除振的困难频段的震动。并且具有优秀的精确定位及精密校平性能。

• 灵活适配：搭载移动装置也不会摇摆。

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